1992年3月
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
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全彩会议室
今天开☃☓⚩会来的人特别全，因为公司到了🕶🎃一😼个新的节点。
在会议桌🌚⛍中央，摆放着几块104寸的tft-lcd样品。这几块😯🄵样品，是用产线设备跑出来的。lcd生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这个⚦📥跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率问题。但剩下的事情相对就好🂉办了，大家慢慢磨🖎时间吧。
样品给骆师姐送去了吗？”
送去了，她们的电路板已经准备得🖩🕕差不多😼了，估计过🆓🏉两天，成品就会送回来。”
会议室☃☓⚩的众人，都对⛀🗕第一块可以显示图案的lcd成品，期盼着🕁🆩。
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会议的重点，永远都是良率问题。
odf工序，被引入以后，🅣按理说tft😼-lc🐬d的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。
光电虽然没有晶圆的生产经验，但l☶ed的生产经验不算少了。但实际情况，并非如此，lcd的尺寸，实🏶🞤🖉在是太大了。
小成🄡⚭，你那边的五次光刻🆙技术，是否成熟了？”
王青🄡⚭山是产线调试的技术负责人，从现在开🝒始，产率，良♵率的问题，主要就是他的事情了。
怎么了？”
产品🄡⚭的良率不足，也跟现在tft的加工😼工序次数过多有关系。”
tft的🌚⛍加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前🄡⚭的tft加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。