1992年3月
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
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全彩会议室
今天开会来的人特别全，因为公司到了一个新的节点🙕🏆。📖
在会议桌中央，摆放着几块104寸的tft-lc🙕🏆d样品。这几块样品，是用产线设备跑出来的。lcd生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这个🟁🚉👧跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率问🄆🞣🕼题。但🖌👍🇨剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
样品给骆师姐送去了吗？”
送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会⛗送回来。”
会议室的众🄪⛼人，都对第🕐一块可以显示图案的lcd成品，期盼着。
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会议的重点，永远都是良率问题。
odf工序，被引入以🕐后，按理说tft-lcd的良率，不🍡🉤应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。
光电虽然没有晶圆的生产经验，但le🛧🞵😡d的生产经验不算🔗少了。⚙👶但实际情况，并非如此，lcd的尺寸，实在是太大了。
小成，你那边的五次光刻技术🂠🐍⚋，是否成熟了？”
王青山☦🁬是产线调试的技术负责人，从现在开始，🍍产率，良率的问⚙👶题，主要就是他的事情了。
怎么了？”
产🅌🅇品的良率不足，也跟现在tft的加工工序👸🍨次数过多有关系。”
tft的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，🎫📿☼显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的tft🟁🚉👧加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光😊刻，才能完成加工。